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6點介紹INFICON電離真空計校準時需要注意的事項

電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。

INFICON電離真空計的校準的注意事項

真空計按測量性質(zhì)可分為絕對真空計和相對真空計。所謂絕對真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計,例如u型壓力計、壓縮式真空計就是絕對真空計。通過測量與壓力有關(guān)的物理量并與絕對真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。我們校準的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導真空計,都是相對真空計。

電離規(guī)管的結(jié)構(gòu)為一個圓筒型三極管,它有三個電極:陰極f發(fā)射電子;柵極a加速電子,收集極c收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負電位。它的優(yōu)點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強;反應(yīng)迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠距離控制;量程寬,線性好,測量精度較高。缺點主要是在壓強高于10-1pa時,容易氧化燈絲,一旦系統(tǒng)突然暴露大氣會燒壞規(guī)管;玻殼、電極的放氣導致測量的誤差。

校準電離真空計時,應(yīng)注意以下六點:

（1）一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。

（2）在校準的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。

（3）規(guī)管安裝時應(yīng)豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。

（4）在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規(guī)管陰極氧化而燒毀。

（5）在讀數(shù)之前,應(yīng)先調(diào)整好發(fā)射電流、零點及滿度。具體步驟是:發(fā)射電流—零點—滿度—發(fā)射電流。

（6）電離真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。

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